1、真空泵本身漏氣：

　　  1)密封圈漏氣。應(yīng)檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈，

　　  2)氣鎮(zhèn)閥墊圈損壞：或未擰緊。應(yīng)更換墊圈并擰緊氣鎮(zhèn)閥；

　　  3)排氣閥片損壞，密封不好。應(yīng)更換氣閥片；

　　  4)真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。應(yīng)修整真空泵腔或更換，

      5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣。應(yīng)拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進(jìn)行清洗或修理。

　　2、真空泵油有問題，

　　  1)油位過低。應(yīng)加足油量到油標(biāo)中心線，

　　  2)油被沾污，油質(zhì)變壞。應(yīng)更換新油，

　　  3)油的牌號不符。應(yīng)換規(guī)定牌號的真空泵油，

　　  4)油路不通，真空泵腔內(nèi)沒有保持適當(dāng)?shù)挠土?。?yīng)檢查油路及油閥的進(jìn)油量，保持油路暢通。

　　3、進(jìn)氣口的過濾網(wǎng)被堵塞。應(yīng)取下過濾網(wǎng)清洗干凈，再裝上去，

　　4、轉(zhuǎn)子的彈簧變形或折斷及旋片動作不靈。應(yīng)整修或更換彈簧變形，使轉(zhuǎn)子積旋片配合良好，

　　5、真空泵溫太高，

　　  1)被抽氣體溫度過高。應(yīng)讓氣體冷卻后再進(jìn)入真空泵內(nèi)，

　　  2)吸入硬物使真空泵體磨損。應(yīng)拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進(jìn)行修復(fù)或更換，

　　  3)真空泵冷卻水流不夠。應(yīng)加大冷卻水流量，

　　  4)裝配不當(dāng)，使轉(zhuǎn)子軸心位移，造成單面磨損。應(yīng)拆開檢查并重新裝配。

　　6、因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應(yīng)檢查真空泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規(guī)定的精度要求進(jìn)行修復(fù)或更換。

　　7、真空泵運轉(zhuǎn)中摩擦發(fā)熱)溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應(yīng)通冷卻水或用電風(fēng)扇降溫，同時，檢查有關(guān)部件配合間隙并按規(guī)定精度要求進(jìn)行修理或更換。

　　真空泵真空度的調(diào)節(jié)：

　　很多微型真空泵的本身是沒調(diào)節(jié)真空度的功能的，只有通過加閥門的方式調(diào)節(jié)。比如在泵的抽氣端串一個精密泄壓閥，當(dāng)真空度較高時，把閥門打開，真空度就降下來了。這種精泄壓閥還有有定向排放有毒的氣體等，到容器的通道，這是很多閥門沒有的功能?？梢杂弥悄苷婵毡茫玫纳厦嬗邪粹o，可以設(shè)定負(fù)壓，還有液晶面板顯示負(fù)壓。另外還有一個旋鈕，可以調(diào)節(jié)流量的大、小。這種智能真空泵又稱交流電真空泵，數(shù)顯真空泵。